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主题:如果要在DECAN L2中安装Side Tray Feeder,应对DECAN L2的一部分进行改造。改造后必须进行校准(Calibration)。 (更换BUT上板, 改造Conveyor出口端, 更改ANC的组
: |" P$ _9 c/ M3 S" D装位置)
! Y# D \2 w! ]; k5 [0 h' j" A8 p5 t+ ^4 D: N/ {9 R- M
对象: DECAN L2 (可安装的型号: STF-100S)8 S4 [9 z3 }. T, i) `$ j
" [ |" @0 _4 u& v# }* x7 M
改装步骤:
+ O( N0 q, n. N5 B7 a( m P$ o1. 更换BUT上板后,将其移动到更换了传感器DOG的BUT后进行组装' Y9 T# E$ ?( ~3 P- `( _+ q
$ \: f/ h9 c4 g3 U! H( m. b% }' j
2. 对Conveyor出口部分进行改造
7 b: l4 N& a- Z- h6 K4 Y3 x3. 更改ANC组装位置(移动到Stage Camera前方后进行组装). l+ D- p" a' j. z4 L
4. 执行有关Conveyor的Calibration- y/ v' J' R" w" m# L% L
 Common XY Calibration
& ~% p( e. P- H6 ]: G! k Conveyor Calibration7 x& f) o* I' p# i/ t7 j" j; ]
 Gantry Thermal Mapping
6 S2 d( d& B- S9 q3 o+ { Gantry Mapping) L5 Q8 b( N3 J% v. E# X
5. 执行有关ANC的Calibration
* |0 ~$ s G& i2 M; N: q3 e7 E* d" D/ p ANC Pos. Scan
4 j2 H: |% Y+ o/ x' g6 u3 |$ U+ E( e Fiducial Camera Scale
2 F8 n( d! `% d$ f" \ Camera Offset, \3 k9 J" Y" h% q4 f% y
 Head Z / R Offset Calibration$ _/ j, s. F) t/ A4 ~6 S1 v& @' G
 Head Offset Calibration) Z% v+ |" v/ y+ K' e; O
 Fly Camera Scale Calibration# E W" O c1 b" {" ]. K
 Fly Camera Offset Calibration
" i! } I2 [1 i Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration
; a1 m# R( i+ m' I A$ b R-Axis Offset Calibration8 U7 |0 O1 q7 y% R
8 N, T. p. j* s5 ?6 F3 V; v p1 N% d a/ I2 k
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