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主题:如果要在DECAN L2中安装Side Tray Feeder,应对DECAN L2的一部分进行改造。改造后必须进行校准(Calibration)。 (更换BUT上板, 改造Conveyor出口端, 更改ANC的组
# o2 a: X4 W% g0 b) r# X* [装位置)
+ {! u& Z' u) |/ S8 X* f
. l7 i2 E( x4 L/ |* t, `( k) w* J对象: DECAN L2 (可安装的型号: STF-100S); [: g, n0 Z$ y. W0 V
7 ^, ~ m: }3 m3 B {2 s6 A. ^
改装步骤:
; e9 W6 k$ ?! ^" F* l1. 更换BUT上板后,将其移动到更换了传感器DOG的BUT后进行组装
3 @; d( h9 I9 e% |# |0 W T: s) ?/ u- o, K
2. 对Conveyor出口部分进行改造8 Z) P: q( c0 K7 e1 h' N
3. 更改ANC组装位置(移动到Stage Camera前方后进行组装)
6 Y+ f; w) t# x; d. B4. 执行有关Conveyor的Calibration
0 }+ L. S9 e" H$ S3 h+ A e Common XY Calibration, b& P) s6 K( \) k& L9 G7 P7 M3 O; L$ _
 Conveyor Calibration6 `: i* W$ y0 G: A" k4 N
 Gantry Thermal Mapping3 E" v" N) r+ Q( a1 c% ^
 Gantry Mapping
- c$ d( J1 M |( _+ K& c5. 执行有关ANC的Calibration. Z6 C( T8 A* D
 ANC Pos. Scan
0 E' ~5 z0 W7 Z; b, \- ] Fiducial Camera Scale
% T* |3 z2 V: N3 j; y Camera Offset
/ \ m" D% d4 H3 M' t% ? Head Z / R Offset Calibration
9 ~9 i/ F0 }1 e$ Z" B" x& R Head Offset Calibration
$ }0 }+ x& I8 k: @" j Fly Camera Scale Calibration ~/ [- p- {9 E. a. b* G
 Fly Camera Offset Calibration
. _! t0 a9 D' }3 @& @, [ I Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration9 R& C. S. w6 o; j& @" o
 R-Axis Offset Calibration
' a6 ]' n; U0 e) S3 q6 f& A7 E/ Z3 L$ n: j* P) I3 t2 w6 d# W" ^
* w/ N7 R6 E4 [# L: y6 s
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