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主题:如果要在DECAN L2中安装Side Tray Feeder,应对DECAN L2的一部分进行改造。改造后必须进行校准(Calibration)。 (更换BUT上板, 改造Conveyor出口端, 更改ANC的组6 T. w9 u0 n) x+ Y0 @! Q
装位置)
& H0 n' p/ y/ Q0 R @. z/ T& B8 x! Q4 \5 x% e) U) ?
对象: DECAN L2 (可安装的型号: STF-100S)
3 o& [- L5 x- g3 m7 w; W5 X# B9 s" R; g/ d4 l
改装步骤:
8 R' d. E; h( j C( e1. 更换BUT上板后,将其移动到更换了传感器DOG的BUT后进行组装
# n# {% K) b/ M% A( H
4 I$ d6 G: C/ T( F* [& `4 {. m2. 对Conveyor出口部分进行改造3 e4 M9 \7 J, k/ e
3. 更改ANC组装位置(移动到Stage Camera前方后进行组装)
0 d& \6 x* t/ K9 y4. 执行有关Conveyor的Calibration0 i+ U& k2 S5 b% m9 h
 Common XY Calibration# y6 D5 L9 U; }5 k7 c% m! B$ G
 Conveyor Calibration
0 j, Y2 X3 [/ |4 `0 j3 U+ z Gantry Thermal Mapping8 [$ D$ P( R; ?4 `, K" l& \
 Gantry Mapping
: b9 X* |6 J- Q0 W( c3 `" m5. 执行有关ANC的Calibration, g! l b' ~+ N1 d. M
 ANC Pos. Scan
( C: \* ~2 N+ z6 i Fiducial Camera Scale
9 ^- P; E( q, e7 i/ y1 M$ e Camera Offset: v1 [) e7 f" M4 y h
 Head Z / R Offset Calibration- D5 ]$ w e) I# f
 Head Offset Calibration1 d' Y* @% Y; T9 }
 Fly Camera Scale Calibration
% w8 P4 |6 p d; E" x Fly Camera Offset Calibration
4 t$ K# p) X( c- `) }7 H Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration
' T2 ^: T. c8 }9 I5 c! h! ] R-Axis Offset Calibration6 p9 H0 g" j# f, K& l' q
/ z$ @) {/ u2 X# o
/ g+ a' y& z) H( V, j* @; u |
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