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- 资源类型 ： 韩国原厂技术通告
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主题：如果要在DECAN L2中安装Side Tray Feeder，应对DECAN L2的一部分进行改造。改造后必须进行校准（Calibration）。 (更换BUT上板, 改造Conveyor出口端, 更改ANC的组' f7 [% c4 I5 P ~* A/ N
装位置)2 x7 e! e! V# J0 v
) ?7 r$ v+ g& g8 j对象: DECAN L2 (可安装的型号: STF-100S)# e- ?0 P0 d/ U9 d% O( f6 G- [
' [. @+ ~ [: K5 j$ B, g, g改装步骤:
V: D" t: L8 b/ Z1. 更换BUT上板后，将其移动到更换了传感器DOG的BUT后进行组装1 P" {* l$ a4 ?6 ~" l+ H/ c7 `
/ B6 `% q+ I; `8 L6 k% r2. 对Conveyor出口部分进行改造1 E8 ^" W( [/ x) s# L, v
3. 更改ANC组装位置(移动到Stage Camera前方后进行组装)
$ G; g3 w! _" q7 v4. 执行有关Conveyor的Calibration
: T( Y3 X* A# Z! g) j Common XY Calibration
8 Q) k# B8 V; m" ]# | Conveyor Calibration
4 m+ \1 g6 B, t- s6 q5 @5 E Gantry Thermal Mapping( x% P. N0 w% b$ B" j
 Gantry Mapping
9 I& n/ a* T* B# i' ~5. 执行有关ANC的Calibration
9 h6 r8 H. g+ D, Y8 R6 w ANC Pos. Scan
4 T* v, X0 H0 j3 R5 g Fiducial Camera Scale6 d+ ^: c9 {6 Y0 R1 O3 Q, q! X
 Camera Offset
: m2 n% e8 R3 G) I5 S Head Z / R Offset Calibration
9 ?7 v4 ~( l3 P+ @ Head Offset Calibration
$ e/ ~! E7 x+ m% o# A/ k! w- [ Fly Camera Scale Calibration3 ?6 l3 p: b7 j$ O9 q6 c& o
 Fly Camera Offset Calibration$ T" C0 O; z6 {, t5 u
 Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration
1 _5 Z1 T- g+ E+ O1 \/ a4 h. n R-Axis Offset Calibration
5 `8 v3 H' Z. n7 |) i0 l* ?" b7 l' l2 I9 }2 K3 @
' M0 K7 u( w A2 \8 |8 h
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