SM482抛料报警，求高手赐教

一台SM482生产时发生抛料报警时执行抛料正常，但手动取料后，再执行抛料动作时，机器即报警同时伺服系统掉电。
即：正常生产时的抛料动作正常，手动抛料时报警。
机器6个头都有此故障。
报警信息如下：
4 e4 V1 s2 p& C6 `2 {3 j$ C! A1002，警报发生在Z轴
' l2 F$ ?( q3 s% N6 L' ?0 r% V4 i有时报警：
% W$ D" U- k# F/ x6 wC157，Z轴移动中发生动作超时。
1，检查真空是正常的，040吸嘴测真空：620左右，头上无吸嘴时真空130左右
2，吸嘴检测正常。
; Q' x7 Y" ]" W& @% d3，校正Z高度正常。
9 D# k, `- G6 k; B" q4，所有吸嘴手动抛料都会报警，用040吸嘴测试过关掉真空，同样报警
5，在系统吸嘴选项里把真空检查关掉，测试仍然NG
求各位高手赐教！

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6号头  杆子变形了
0 N- @& w* O' A- ?7 ]' \" i- b

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